雙束聚焦離子束(FIB-SEM)是聚焦離子束(FIB)與掃描電子顯微鏡(SEM)耦合系統,通過結合相應的氣體沉積裝置,納米機械手,加載各種探測器及可控的樣品臺等附件成為一臺集微區成像、加工、分析、操縱于一體的分析儀器。
搭載(zai)的能量色散X射線光譜儀(Energy Dispersive Spectroscopy, EDS)可完成(cheng)對材料微區(qu)成(cheng)分元素種類與含量的分析。
透射電子顯微鏡(TEM)是用波長很短的電子束作電子光源,用電子槍發射出的高速率和聚集電子束照射到很細的試樣上,采集透射電子通過電磁透鏡進行多級放大成像,具有高分辨和高放大倍數特性的電子光學儀器。
搭(da)載的能量色散(san)X射線光譜儀(Energy Dispersive Spectroscopy, EDS)可完成材料微(wei)區成分(fen)元素種類與含量的分(fen)析(xi)。
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